真空碳管爐由爐身、爐蓋、真空系統(tǒng)、電氣系統(tǒng)和水冷系統(tǒng)等部分組成。爐身采用水冷夾層結構。

    爐蓋可以借彈簧力開啟。爐體上設有二個觀察窗，可以觀察工件加熱的情況。爐內裝有石墨電極，它是由互相絕緣的兩個半圓組成的與石墨發(fā)熱體在其縱向開了數(shù)條細封，以增加電阻，并使發(fā)熱體可以一端通電，而另外一端在加熱時允許自由的膨漲。

發(fā)熱體的周圍有多層隔熱屏裝置，其組裝在一起便于取出爐外。

真空系統(tǒng)是由擴散泵、機械泵以及真空閥等組成。真空的測量采用熱偶真空計和電離真空計。電氣系統(tǒng)由可控硅電壓調整器、低電壓變壓器及控制柜所組成。