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  • 20224-19
    淺析PECVD系統的工藝原理

    PECVD系統主要由真空和壓力控制系統、淀積系統、氣體及流量控制、系統安全保護系統、計算機控制等部分組成。該技術是在低氣壓下,利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上(即樣品放置的托盤)產生輝光放電,利用輝光放電(或另加發熱體)使樣品升溫到預定的溫度,然后通入適量的工藝氣體,這些氣體經一系列化學反應和等離子體反應,最終在樣品表面形成固態薄膜。工藝原理:在反應過程中,反應氣體從進氣口進入爐腔,逐漸擴散至樣品表面,在射頻源激發的電場作用下,反應氣體分解成電子、離子和活性基團等。這些分解...

  • 20224-12
    滑軌式管式爐淬火不充分引起變形

    滑軌式管式爐是一體化結構設計,用于1100℃以下快速升溫快速降溫的特殊工藝要求,通過移動爐體實現快速冷卻的目的。同時也可以預先設定溫度,然后移動到樣品處,達到快速升溫的效果。適合用于廣泛的RTP工藝及CVD石墨烯工藝。適用于要求升降溫速度比較快的CVD實驗。爐體采用MXG1200開啟式管式爐,爐底安裝有直線滑軌,當生長結束后,左右拉動爐體能夠保證有足夠的空間使實驗樣品移出爐體,實現快速降溫的要求。性能特點:1、工作溫度RT-1000℃;2、日本進口智能程序控溫儀控制精準,可編...

  • 20224-2
    壓力燒結爐的主要功能和特點

    壓力燒結爐采用立式結構由爐體、爐升蓋降機構、真空系統、充氣系統,溫控系統等組成。爐體采用雙層水冷結構,內壁為16MnR壓力容器專用鋼,外層優質碳鋼,中間通水冷卻。爐內發熱元件為石墨管,保溫元件為碳氈及石墨復合結構。爐側裝有一觀察孔、紅外測溫口、熱電偶孔。熱電偶選用鎢錸型,同時具有高溫時自動退出加熱區的功能。適用于氮化硅陶瓷球,陶瓷刀具、LED粉體還原與燒結、硬質合金,粉末冶金燒結等材料在高壓氮氣或氬氣氣氛內進行燒結,有利于增加材料的燒結密度,提高材料的機械性能。燒結工藝應用:...

  • 20223-28
    使用高溫管式爐時,容易忽略的幾個問題

    高溫管式爐主要運用于冶金,玻璃,熱處理,鋰電正負極材料,新能源,LED發光材料,磨具等行業測定材料在一定氣氛條件下的專業設備。可選擇單設定點或30段可編程控制器。節能型的陶瓷纖維材料和雙層結構,可將外表溫度降到常溫。均溫區長,操作簡便,密封可靠,綜合性能指標較高。爐管可選擇配置耐熱鋼、石英玻璃、陶瓷管等材料。高溫管式爐的結構簡單,熱效率高,又能連續生產,并且操作方便,因此在冶金,玻璃,熱處理,新能源等的行業中有著廣泛的應用,為了更好地使用,要注意使用規范,以下是根據相關工作人...

  • 20223-22
    還不了解什么是PECVD系統?請看這里!

    什么是PECVD系統?它是化學氣相沉積法,是一種化工技術,該技術主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質、在襯底表面上進行化學反應生成薄膜的方法。它是一種PECVD(等離子體增強化學氣相沉積)的管式爐系統,它由500W射頻電源、帶有200毫米直徑石英管的可拆分管式爐、真空泵和三通道質量流量計氣體流動系統組成。它可以混合1-3種氣體用于CVD或擴散。化學氣相淀積法已經廣泛用于提純物質、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態無機薄膜材料。這些材料可以是氧化物、硫化物、氮...

  • 20223-15
    真空電阻爐的原理、應用及發展趨勢

    一、引言真空電阻爐是一種在真空環境下工作的電阻加熱設備,其工作環境使其在眾多工業領域中具有廣泛的應用。本文將對真空電阻爐的原理、結構、應用、優勢以及未來的發展趨勢進行詳細的探討,以期為讀者提供全面而深入的認識。二、真空電阻爐的原理與結構原理真空電阻爐的工作原理主要是利用電流通過電阻體時產生的熱量來加熱工件。在真空環境下,由于氣體分子的數量大大減少,熱傳導和熱對流的方式受到抑制,從而減少了熱量的損失,提高了加熱效率。同時,真空環境還可以有效防止工件在高溫下被氧化或污染。結構真空...

  • 20223-7
    管式電阻爐適用于各種小型零件、彈簧、模具熱處理

    管式電阻爐采用先進技術研制開發的高性能高節能的新型電爐,有單管、雙管、臥式、可開啟式、立式、單溫區、雙溫區、三溫區等多種管式爐型。具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高、保溫效果好、溫度范圍大、爐膛溫度均勻性高、溫區多、可選配氣氛、抽真空爐型等。主要應用于大專院校、科研院所、工礦企業等實驗和小批量生產之用。管式爐現已廣泛用于很多行業,用來測定材料在一定氣溫條件下的專業設備,為了使其更好地使用和發揮作用,首先要做好設備的安裝。可放置在工作臺上,以適合工作。人員的操作高度,工作臺的有...

  • 20222-23
    看了這篇文章讓你使用CVD管式爐遇到這些問題不再束手無策

    CVD管式爐是測定材料在一定氣溫條件下的專業設備操作較為容易方便于控制,能連續進行生產主要是應用于大專院校、科研院所、工礦企業等實驗和小批量生產之用。具有安全可靠、操作簡單、控溫精度高、保溫效果好。CVD管式爐是一種特殊的CVD系統,是高校、科研院所、工礦企業做高溫氣氛燒結、氣氛還原、CVD實驗、真空退火用的理想產品。在我們日常使用真空管式爐的過程中也會遇到一些問題故障的現象,那么我們遇到這些問題故障時如何解決呢?下面小編就跟大家講一講吧1、在高溫試驗中,如溫度變化達不到試驗...

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